由于钢丝与塔轮之间无法建立稳定的摩擦
更新日期:2021-04-15     浏览次数:103
核心提示:3 金刚线母线成品生产工艺金刚线母线成品生产工艺包括1中的步骤(4)~步骤(5)。目前,金刚线母线生产企业常用滑动式水箱拉丝机将102m级直径的电镀丝

3 金刚线母线成品生产工艺

金刚线母线成品生产工艺包括1中的步骤(4)~步骤(5)。目前,金刚线母线生产企业常用滑动式水箱拉丝机将102 μm级直径的电镀丝半成品直接拉拔至所需的101 μm级直径的金刚线母线成品。滑动式水箱拉丝机实现滑动拉拔的必要条件为:除成品模具外,中间各道次塔轮的线速度 Un要大于其相应道次的钢丝拉拔速度 Vn。要使 Un>Vn成立,就必须使钢丝的延伸因数 μn大于塔轮梯级的增速因数 in,而两者之比称为滑动系数 τn[9]。滑动系数 τn为拉丝配模的关键参数,而其本身又是根据拉丝机类型和机械延伸率估算的经验值,并且 τn值受拉丝模具及同轴塔轮磨损程度、润滑液对金刚线母线的润滑效果等影响而随时产生波动[10]。对于超细超高强韧金刚线母线,由于与塔轮的接触面积更小,在水箱拉丝过程中难以建立稳定的摩擦力,滑动系数 τn误差更大,经常出现的问题有:(1)因模序间道次延伸率与机械延伸率及滑动系数 τn之间不匹配导致的机械过载断丝,如图4所示;(2)由于钢丝与塔轮之间无法建立稳定的摩擦,导致钢丝表面质量变差,进而影响后续金刚石涂镀的均匀性,最终引发切割的硅片等表面质量变差;(3)钢丝成品圈径不稳定,导致切割后的硅片等翘距尺寸过大等。