通过Z向压电陶瓷控制悬臂-试样间距离。具体实现过程为：先给Z向压电陶瓷外壁供200V的最大电压，其伸长量达到最大值，约为2μm；然后驱动电机转动带动试样工作台逼近悬臂，直至探针近似轻敲至试样表面，此时停止电机，撤去Z向压电陶瓷电压，则此时探针-试样间距离近似为2μm。以此为起始位置，通过给样品台中的Z向压电陶瓷的内外壁施加不同电压使其产生一定的变形量，从而改变悬臂和试样表面间的距离。整个测试过程，探针-试样间距离约从2μm逐渐增加至10μm。

2.2压膜阻尼对悬臂品质因数的影响

选择Budget Sensor的ContAl探针, 使用公称弹性常数为3N/m的悬臂，悬臂几何尺寸（长、宽、高）为225μm×28μm×3μm。激励悬臂工作于一阶谐振模态及二阶谐振模态，一阶谐振频率为82.30 kHz，二阶谐振频率为522.40kHz。保持其他条件不变，仅改变悬臂-试样间距离，每次距离改变后进行扫频测试，通过幅频特性曲线中的谐振中心频率及半功率带宽计算品质因数。